Virdeeler:
Dës Serie vu Pompel ass gutt bei der Leeschtung ënner haarden Ëmwelt (héich Temperatur, Stëbs, asw.), Stabil an der Leeschtung a mat laange Liewensdauer, an einfachen Ënnerhalt a praktesch Operatioun och.
Uwendungen:
Haaptapplikatioune sinn an der industrieller Leckerkennung, PVD, CVD, Ionimplantatioun, Vakuumelektronik Komponenteproduktioun, Low-E Glas, ITO Glas, optesch Beschichtung, Solarzellen, Elektronestrahlschweessen, Vakuumofen an aner Industrien
Spezifikatiounen:
Flang (an) | DN400 ISO-K | Gas uechter (sccm) | N2: 5500 an |
Flang (Eraus) KF | DN100 | Hien: 4000 | |
Pumpgeschwindegkeet (L/s) | N2: 3500 ewechzekréien | H2: 3200 ewechzekréien | |
Hien: 2650 | Ar: 2100 Eng | ||
H2: 1280 an | Rotatiounsgeschwindegkeet (U / min) | 13500 | |
Ar: 3200 Eng | Lafzäit (min) | ≤18 | |
Kompressioun Verhältnis | N2: 108 | Cooling Type, Standard | Waasser |
Hien: 103 | Waasserverbrauch (l/min) | ≥1 | |
H2: 102 | Killwaasser Temperatur (℃) | ≤25 | |
An: 108 | Stroumverbindung: Spannung (V AC) | DC24/AC220 | |
Ultiméierten Drock (Pa) | 6 × 10-6 | Max. Energieverbrauch (W) | ≤1100 |
Max. Kontinuéierleche Fore-Vakuum Drock (Pa) | 100 | Controller Modell | FD-III |
Max. Virun Vakuum Drock | N2: 300 an | Gewiicht (kg) | 130 |